用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统.pdf

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本实用新型公开了一种用于砷化镓晶体生长的恒压辅助系统，属于晶体生长装置技术领域，包括恒压装置，其上设有箱门；空气压缩机；进气管道，其将所述空气压缩机与恒压装置连通；出气管道，其与所述恒压装置连接；第一压力表，其与所述恒压装置连接，用于监测恒压装置内的压强；所述进气管道及出气管道上均设有截止阀。本实用新型示例的恒压辅助系统，该系统可以对砷化镓晶体生长环境的压强进行精确的控制，能够有效的放置胀管、缩管的现象，提高了砷化镓单晶率，降低了生产成本，同时结构简单，安全环保。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213570819 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022800978.X (22)申请日 2020.11.27 (73)专利权人云南师范大学地址