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本申请公开了一种平行同轴光源,包括发光颗粒、半透半反镜和菲涅尔透镜,发光颗粒与菲涅尔透镜之间设有两个光栅镜片,两个光栅镜片相互平行且可相对于菲涅尔透镜移动,移动位置包括与菲涅尔透镜视场重叠的第一位置和位于菲涅尔透镜视场之外的第二位置,光栅镜片上设有多个平行的条形孔,两光栅镜片上的条形孔相互垂直。如此设置,发光颗粒发出的光线经过条形孔后沿条形孔长边所在截面的发散程度减小,即光线的发散角减小,光线的准直度得到提高,使成像更清晰,在对印痕类缺陷进行检测成像时,可以先后两次使用不同的光栅镜片进行检测成像
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213580705 U
(45)授权公告日 2021.06.29
(21)申请号 202022809213.2
(22)申请日 2020.11.27
(73)专利权人 北京图辰科技有限公司
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