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本实用新型涉及一种分架式晶圆清洗设备用内部晶圆辅助翻滚机构,包括箱体、框架和清洗池,所述箱体的内部中间固定安装有清洗池,清洗池的内部顶端设有滚筒,滚筒的表面转动安装有挡板,滚筒的两端固定安装安装有轴杆,轴杆转动安装在框架的内部,所述框架的顶端一侧固定安装有第一马达,第一马达的输出端通过皮带转动连接轴杆,所述框架的顶端中间固定连接在液压缸的输出端,且液压缸固定安装在箱体的外部顶端。本实用新型利用液压缸升起或者降下滚筒,将装有晶圆的滚筒在清洗池内进行进出,而滚筒可由马达转动,这样可让滚筒内部的晶圆能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213670789 U
(45)授权公告日 2021.07.13
(21)申请号 202022189499.9
(22)申请日 2020.09.29
(73)专利权人 无锡亚电智能装备有限公司
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