天车系统关键技术研究.pdfVIP

电子专用设备研究 电 子 工 业 董 用 i殳备 F 天车系统关键技术研究 上海新创达智能科技有 限公司 (上海新创达智能科技有 限公司，上海 201306) 摘 要：天车系统作为一种稳定可靠的物料搬运系统，广泛应用于集成 电路产业的自动物料搬运 系统 。介绍 了天车系统 的关键技术 ，包括 吊运车技术、吊运车轨道技术、供 电技术 、精密运动控制 技术和污染颗粒 的防护技术 。 关键词 ：天车系统；物料搬运 系统 ；非接触式 中图分类号 ：TH238 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004-4507(2018)03-0076—03 ResearchonKeyTechniquesofCraneSystem ShanghaiNew ChuangdaTechnologyCorporation (Shanghainewchuangdatechnologycoproration，Shang