一种真空镀膜夹具装置.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种真空镀膜夹具装置.pdf

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本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜夹具装置。该装置，包括固定座、驱动机构、定位盘、支撑柱、遮蔽夹具、目标物和限位工装。所述驱动机构与所述固定座连接以驱动所述固定座旋转；所述定位盘设置在所述固定座上设有定位盘，所述定位盘分为上、下定位盘；所述上、下定位盘分别设有至少4个第一限位孔和至少4个支撑柱；所述遮蔽夹具设有第二限位孔，所述第二限位孔与所述第一限位孔位置互相对应；所述遮蔽夹具分为上下两层用以遮蔽固定目标物。本申请中的一种真空镀膜的镀膜夹具装置，被镀目标物可满足四面沉积膜层，且可将

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213680871 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202021329698.9 (22)申请日 2020.07.09 (73)专利权人北京实力源科技开发有限责任公