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半导体设备行业处于半导体产业链上游关键环节 半导体设备行业处于半导体产业链上游关键环节 半导体设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产或量检测设备，深入应用到晶圆制造中氧化、光刻、刻蚀、离子注入、量检测等核心工艺环节，处于半导体产业链上游关键环节。通常而言，一条先进晶圆制造产线投资中，半导体设备投入约占总投资规模的75%，支撑了晶圆制造工艺的升级和迭代。此外，半导体设备品类众多，涉及光学、物理学、机械学等多学科技术，具有技术壁垒高、制造难度大、资金投入高等特点，需要长时间的研发和积累才能实现技术突破。为了匹配晶圆制造工艺提升的需求，半导体设备的技术提升速度需要同步、甚至超前于晶圆制造工艺的迭代