传感器封装结构及差压传感器.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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本实用新型公开一种传感器封装结构及差压传感器,包括:外壳;基板,外壳设置于基板上并与基板围成收容空间,外壳的第一通气孔和基板的第二通气孔均与收容空间连通;收容于收容空间内、电连接并层叠设置于基板上传感器芯片和信号处理芯片,且传感器芯片位于信号处理芯片上背离基板的一侧;传感器芯片具有振动腔,信号处理芯片开设有第三通气孔,振动腔通过第三通气孔与第二通气孔连通;防水胶,填充于收容空间内并覆盖传感器芯片和信号处理芯片。该传感器封装结构使得压差传感器集成有温度线性补偿功能,应用方便。传感器封装结构中传感器

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213688772 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022828036.2 H01L 25/16 (2006.01) (22)申请日 2

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