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一种三头碳化硅晶圆键合机.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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一种三头碳化硅晶圆键合机.pdf

    本实用新型涉及晶圆生产技术领域，特别公开了一种三头碳化硅晶圆键合机。它包括降温系统包括：油冷却罐设有冷却油进管和冷却油出管，冷却油进管上设有冷却油循环泵，冷却油进管连接两根进管支管，两根进管支管分别连接到盘底和盘体上；冷却油出管分别连接两根出管支管，两根出管支管分别连接到盘底和盘体上。两根进管支管上分别设有冷却油关断阀。硅胶气囊的充气管上设有调速阀，所述调速阀与PLC控制系统电性连接。所述密封装置为碟片式伸缩波纹管。本实用新型容易拆卸、维修，降温快，节省能源，提高效率；通过调速阀随时调节硅胶气囊

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213691976 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202120159260.9 (22)申请日 2021.01.21 (73)专利权人 山东晶升电子科技有限公司

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