原创力文档- 8
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- 2023-03-18 发布于北京
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本实用新型涉及一种基于MEMS的IEPE传感器电路，包括MEMS传感器芯片，所述MEMS传感器芯片的输入端连接有稳压滤波电路，输出端连接有二阶有源低通滤波电路。本实用新型的电路创新的采用了MEMS芯片作为传感核心元件，满量程范围内，线性度可达到+0.1％，相比传统压电陶瓷传感元件，具有稳定，可重复的灵敏度。由于是基于芯片制程工艺进行批量生产，具备出色的温度漂移系数，同时芯片自带全面机电自检功能，使得该电路在应用时无需外部硬件校准。本实用新型的方案具备出色的可靠性和高稳定性，无需外部硬件校准，实现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213693648 U
(45)授权公告日 2021.07.13
(21)申请号 202023018493.1
(22)申请日 2020.12.15
(73)专利权人 武汉阿米特科技有限公司
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