传感器技术与应用 课件 第1、2章 认识传感器、 电阻式传感器.ppt

2.1.1 电阻应变片的种类与结构 电阻应变片的种类繁多，形式各样，分类方法也不同。根据所用材料不同电阻应变片可分为金属应变片和半导体应变片两大类，其中金属应变片根据其结构又可分为丝式应变片、箔式应变片和薄膜应变片。 丝式应变片是把电阻丝绕制成栅状夹在两层绝缘薄片（基底和覆盖层）中制成的，是一种常用的应变片，其基本结构如图2.1所示，它主要由以下4个部分组成。 2.1.1 电阻应变片的种类与结构1．丝式应变片 1—基底；2—电阻丝；3—覆盖层；4—引线 图2.1 丝式应变片的基本结构 1）敏感栅 敏感栅是将应变转换为电阻的敏感元件，由直径为0.015~0.05mm的金属细丝绕成栅状（或用很薄的金属箔腐蚀成栅状）制成。应变片的电阻值有60Ω、120Ω、200Ω等规格，以120Ω最为常用。 2）基底和覆盖层 基底用于保持敏感栅和引线的形状及其相对位置；覆盖层既可保持敏感栅和引线的形状及其相对位置，又可保护敏感栅。 2.1.1 电阻应变片的种类与结构1．丝式应变片 3）黏结剂 黏结剂用于将敏感栅和覆盖层固定在基底上，同时用于将应变片粘贴在被测试件表面某个方向和位置上，起到传递应变的作用。 4）引线 引线是从应变片的敏感栅中引出的细金属线，常用直径为0.1~0.15mm的镀银铜线制成。 2.1.1 电阻应变片的种类与结构1．丝式应变片 箔式应变片是利用照相制版或光刻腐蚀的技术，将金属箔在绝缘基底下制成各种图形而形成的应变片，如图2.2所示。金属箔厚度多为0.001~0.01mm。箔式应变片的应用日益广泛，在常温条件下已逐步取代了丝式应变片。 2.1.1 电阻应变片的种类与结构2．箔式应变片 图2.2 箔式应变片 箔式应变片的优点主要有：制造技术成熟，能够保证敏感栅的尺寸准确、线条均匀，并且可以制成任意形状以适应不同的测量需求；敏感栅薄而宽，黏结情况好，传递试件应变性能好；散热性能好，允许通过较大的工作电流，从而可增大输出信号；敏感栅弯头横向效应可以忽略；蠕变、机械滞后较小，疲劳寿命高。 2.1.1 电阻应变片的种类与结构2．箔式应变片 薄膜应变片是薄膜技术发展的产物，它是采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属材料薄膜敏感栅，最后加上保护层而形成的应变片。这种应变片灵敏系数高，易实现工业批量生产，是一种前景很好的新型应变片。但是目前这种应变片在实际使用中存在电阻与温度和时间的变化关系难以控制的问题。 2.1.1 电阻应变片的种类与结构3．薄膜应变片 半导体应变片的优点是：尺寸、横向效应和机械滞后都很小，而且灵敏系数极大，因此输出也大，无需放大器就可以直接与记录仪器连接，大大简化了测量系统。其缺点是：电阻值和灵敏系数的稳定性差，测量较大应变时非线性严重，灵敏系数随受拉力或受压力而变化，且分散度大，一般为3%~5%，因而使测量结果有±3%~±5%的误差。 2.1.1 电阻应变片的种类与结构4．半导体应变片 2.1.2 电阻应变片的工作原理1．电阻应变效应 电阻应变片的工作原理基于金属材料的电阻应变效应，即金属导体的电阻随着它受力所产生的机械变形（拉伸或压缩）的大小而发生变化的现象。 金属导体的电阻随应变而变化的原因是：金属导体的电阻与其电阻率和几何尺寸有关，而金属导体在产生机械变形的过程中，这两者都会发生变化，从而会引起其电阻变化。 设有一根金属丝，其电阻为 式中，R—金属丝的电阻； 　　　ρ—金属丝的电阻率； 　　　l—金属丝的长度； 　　　S—金属丝的横截面积。 2.1.2 电阻应变片的工作原理1．电阻应变效应 当金属丝被拉伸时，其长度伸长dl，横截面积相应减小dS，电阻率也将改变dρ，这些量的变化必然会引起金属丝电阻改变dR，即 2.1.2 电阻应变片的工作原理1．电阻应变效应 两边分别除以 ，得 因为 （r为金属丝半径），得 ，因此 令金属丝的轴向应变量 ，金属丝的径向应变量 ，则由上式得 2.1.2 电阻应变片的工作原理1．电阻应变效应 根据材料力学原理，金属丝受拉力时，沿轴向伸长，而沿径向缩短，轴向应变和径向应变的关系为 式中，μ—金属丝材料的泊松系数。 将上式代入前式得 或 2.1.2 电阻应变片的工作原理1．电阻应变效应 令 则K为金属丝的灵敏度系数，表示金属丝产生单位变形时，电阻相对变化的大小。显然，K越大，单位变形引起的电阻相对变化越大，即灵敏度越高。 2.1.2 电阻应变片的工作原理1．电阻应变效应 由前式可知，金属丝的灵敏度系数K受两个因素的影响：第一项（1+2μ），它是由于金属