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一种易于操作且检测准确的去PSG过刻检测仪器.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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一种易于操作且检测准确的去PSG过刻检测仪器.pdf

    本实用新型公开了一种易于操作且检测准确的去PSG过刻检测仪器，具体涉及检测仪器技术领域，其技术方案是：包括放大观察装置、工作台、箱体和承载板，所述箱体内壁固定安装伺服电机，所述伺服电机输出端插接在盒体一内壁，所述盒体一内壁固定安装液压缸一，所述液压缸一输出端插接在盒体二内壁，所述盒体二内壁固定安装液压缸二；所述放大观察装置包括支撑板，所述液压缸二输出端插接在所述支撑板内壁，所述支撑板底部固定安装摄像头；所述承载板顶部固定安装玻璃板，本实用新型的有益效果是：通过全方位移动的摄像头对硅片进行检测，不

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213691962 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022861838.3 (22)申请日 2020.12.02 (73)专利权人 江苏龙恒新能源有限公司

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