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一种异形PBN和石英组合坩埚.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于四川
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一种异形PBN和石英组合坩埚.pdf

    本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，公开了一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。本实用新型能够使得半导

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213708546 U (45)授权公告日 2021.07.16 (21)申请号 202022183332.1 (22)申请日 2020.09.29 (73)专利权人 威

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