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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型公开了一种集成化多功能束流诊断和准直设备，包括布设在六孔真空盒内的同一个平面上的分别沿着径向串联排布的多组设备、该分别沿着径向串联排布的多组设备之间间隔一定角度；该六孔真空盒前后面中心孔处为束流通道；该分多组设备分别与真空盒外部的与多组设备间隔相同角度的法兰组件相连接、再通过各自的法兰组件与多组设备间隔相同角度的气缸相连接；所述与多组设备间隔相同角度的气缸共用一个配气柜、该配气柜连接控制系统，控制系统控制同一平面内的多个束流诊断和准直设备分时共用束流线上的同一个位置。本实用新型由改进前
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213715474 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202022192232.5
(22)申请日 2020.09.29
(73)专利权人 中国原子能科学研究院
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