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- 2023-03-18 发布于北京
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本实用新型公开一种MEMS麦克风及电子装置，所述MEMS麦克风包括PCB板、壳体及MEMS芯片；所述壳体设置在所述PCB板上，并与所述PCB板围合形成封装腔；所述MEMS芯片配置在所述封装腔内。其中，所述PCB板的内部构造有扩容腔，所述PCB的内表面开设有与所述扩容腔连通的扩容口；所述MEMS芯片包括衬底及设置在所述衬底顶部的感应层，所述感应层固定在所述PCB板的内表面，并罩盖在所述扩容口的上侧。本实用新型的MEMS麦克风，能够增大MEMS麦克风的背腔体积，以提高MEMS麦克风的信噪比，进而大大
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213694152 U
(45)授权公告日 2021.07.13
(21)申请号 202023086075.6
(22)申请日 2020.12.17
(73)专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司
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