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差压传感器和电子设备.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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差压传感器和电子设备.pdf

    本实用新型公开一种差压传感器和电子设备，该差压传感器包括第一基板、第二基板、感应元件以及反馈元件，第一基板开设有第一气孔；第一基板与第二基板围合形成容纳腔，第二基板开设有与容纳腔连通的第二气孔；感应元件设于容纳腔内，感应元件与第一基板连接，并覆盖第一气孔；反馈元件设于容纳腔内，反馈元件与第二基板连接，并与第二气孔间隔设置；反馈元件与感应元件电连接。本实用新型将感应元件和反馈元件分别安装在第一基板和第二基板上，实现感应元件和反馈元件沿厚度方向分布，可以减小第一基板和第二基板的面积。本实用新型封装结

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213688773 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022827989.7 (22)申请日 2020.11.30 (73)专利权人 潍坊歌尔微电子有限公司

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