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一种反射式光栅分束器.pdfVIP

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  • 2023-03-18 发布于北京
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一种反射式光栅分束器.pdf

    本实用新型公开了一种反射式光栅分束器，包括具有光栅的衬底，所述光栅与所述衬底一体，光栅上覆盖有金属层，金属层的形状随行于光栅。通过上述的结构，增强了对光的反射效率，从而提高了反射式光栅分束器的工作效果；同时，采用光栅与衬底一体设计，可以有效地解决由于金属反射率高，造成先做金属层再制作光栅导致制作光栅栅条时产生驻波的技术难题，降低了制造工艺难度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213689991 U (45)授权公告日 2021.07.13 (21)申请号 202022896326.0 (22)申请日 2020.12.03 (73)专利权人 苏州苏大维格科技集团股份有限

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