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- 2023-03-18 发布于四川
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本实用新型提供一种硅片平坦度测试设备机械手，包括机械手主体，用于伸入FOSB类片盒内取出和放回硅片；支撑装置，用于支撑硅片的所述支撑装置设置在所述机械手主体上；推出装置，推出所述硅片的所述推出装置设置在所述机械手主体上；固定装置，固定整个机械手在平坦度测试设备上的所述固定装置设置在所述机械手主体上。本实用新型的有益效果是有效的解决装在FOSB类片盒内的硅片无法直接在平坦度测试设备上上载测试，必须通过转换器将硅片导入FOUP类片盒内再测试，浪费时间降低测试产能的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213706991 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202022275948.1 (51)Int.Cl.
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