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本实用新型涉及晶片生产技术领域，尤其涉及一种晶片腐蚀用夹具，包括滑动卡塞和两块对称设置的夹持片，所述夹持片包括一体成型的夹头和夹柄，所述夹头呈菱形结构，所述夹头的一角与夹柄连接，所述夹柄远离夹头的一端固定连接有握柄，两块所述夹头远离夹柄的两边之间固定连接有连接块，所述连接块的的纵向截面呈V形结构，两块所述夹柄均穿设在滑动卡塞内，所述滑动卡塞能够沿着夹柄的轴向方向滑动。本实用新型的一种晶片腐蚀用夹具，采用双层结构的设计，在进行腐蚀的过程中即使抖动晶片也不易掉落，进而在一定程度上保证了晶片腐蚀的效果
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213716869 U
(45)授权公告日 2021.07.16
(21)申请号 202022454995.2
(22)申请日 2020.10.28
(73)专利权人 威科赛乐微电子股份有限公司
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