一种双加热晶体生长装置.pdfVIP

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2023-03-20 发布于四川
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一种双加热晶体生长装置.pdf

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本实用新型公开一种双加热晶体生长装置，包括：炉外壳以及设置于炉外壳内的石墨坩埚，还包括：双加热器组件，包括：用于为石墨坩埚上部加热的上加热器和用于为石墨坩埚，上加热器和下加热器相互独立控制；保温组件，保温组件围成密闭保温腔，上加热器、下加热器以及石墨坩埚设置于保温腔内；测温组件，测温组件包括至少两个用于检测保温腔不同位置温度的测温仪。本实用新型两加热器独立控制，可以提供更精确可控的温度梯度，温度控制范围更宽；测温组件包括至少两个测温仪，能进行多温区测试。本实用新型能较好得调节特定晶体生长时的温度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213739774 U (45)授权公告日 2021.07.20 (21)申请号 202021948237.X (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人南京光宝光电科技有限公司