ITO导电玻璃简介以及基础知识.docx

ITO 导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称 ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO 导电玻璃，还会在镀 ITO 层之前， 镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器 专用 ITO 玻璃在溅镀 ITO 层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用 ITO 玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此， 最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀 ITO 层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO 层会有不同的特性。一些厂家的玻璃 ITO 层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象； 有些厂家的玻璃 ITO 层会出现高蚀间隔带，ITO 层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃 ITO 层则会出现微晶沟缝。 ITO 导电层的特性： ITO 膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的 ITO 玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。由于ITO 具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”， 因此在存放时要防潮。 ITO 层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO 层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以 ITO 导电玻璃的 ITO 层在 600 度以下会随着温度的升高， 电阻也增大。 ITO 导电玻璃的分类： ITO 导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在 150~500 奥姆）、普通玻璃（电阻在 60~150 奥姆）、低电阻玻璃（电阻小于60 奥姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用； 普通玻璃一般用于 TN 类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN 液晶显示器和透明线路板。 ITO 导电玻璃按尺寸分，有 14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有 2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm 等规格，厚度在 0.5mm 以下的主要用于 STN 液晶显示器产品。 ITO 导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。 影响 ITO 玻璃性能的主要参数： 长度、宽度、厚度及允差（±0.20） 垂直度（≤0.10%） 翘曲度（厚度 0.7mm 以上≤0.10%，厚度 0.55mm 以下≤0.15%） 微观波纹度 倒边 C 倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm） R 倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm） 倒角（浮法方向 2.0mmX5.0mm；其余 1.5mmx1.5mm） SIO2 阻挡层厚度（350 埃±50 埃，550nm 透过率≥90%） ITO 层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液：600C 37%HCL:H267%HNO3=50:50:3）：见表 1-1。 表 1-1 化学稳定性： 耐碱为浸入 600C、浓度为 10%氢氧化钠溶液中 5 分钟后，ITO 层方块电阻变化值不超过 10%。耐酸为浸入 250C、浓度为 6%盐酸溶液中 5 分钟后，ITO 层方块电阻变化值不超过 10%。 耐溶剂为在 250C、丙酮、无水乙醇或 100 份去离子水加 3 分 EC101 配制成的清洗液中 5 分钟后，ITO 层方块电阻变化值不超过 10%。 附着力：在胶带贴附在膜层表面并迅速撕下，膜层无损伤；或连撕三次后，ITO 层方块电阻变化值不超过 10%。 热稳定性：在 3000C 的空气中，加热 30 分钟后，ITO 导电膜方块电阻值应不大于原方块电阻的 300%。 外观质量： 裂纹：不允许。 粘附物：包括尘粒、玻璃碎等凸起物，TN 型 ITO 导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过 0.1mm 的粘附物；STN 型 ITO 导电玻璃镀膜面不允许有不可去除的高度超过0.05mm 的粘附物。 沾污：不可有不溶于水或一般清洗剂无法除去的沾污。 崩边：长X 宽≤2.0mmx1.0mm；深度不超过玻璃基片厚度的50%；总长度≤总边长的 5%。划痕：见表 1-2。表 1-2 玻璃体线状缺陷(宽度W)：包括玻筋、光学变形见表 1-4。表 1-4 膜层点状缺陷：SIO2 阻挡层和ITO 导电层的点状缺陷包括针孔、空洞、颗粒等，点状缺陷的直径定义为：d=(缺陷长+缺陷宽)/2。见表 1-5。表 1-5 ITO 导电玻璃的工厂自适应测试方法及判定标准： 尺寸： A、测试方法：用直尺和游标卡尺测