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骨传导检测装置和骨传导器件.pdfVIP

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  • 2023-03-21 发布于北京
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骨传导检测装置和骨传导器件.pdf

    该实用新型公开了一种骨传导检测装置和骨传导器件，骨传导检测装置包括：第一基底和第二基底，第一基底和第二基底之间限定出密闭空腔；振动电容结构，振动电容结构形成在密闭空腔内，振动电容结构第一固定电极和第一可动电极以及第二固定电极和第二可动电极，第一可动电极相对第一固定电极在水平方向上可移动，第二可动电极相对第二固定电极在水平方向上可移动，第一固定电极和第一可动电极之间极距和第二固定电极和第二可动电极之间的极距在移动方向上一个增大且另一个减小以形成差分输出。根据本实用新型实施例的骨传导检测装置，灵敏度

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213783602 U (45)授权公告日 2021.07.23 (21)申请号 202023344930.9 (22)申请日 2020.12.31 (73)专利权人 苏州敏芯微电子技术股份有限公

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