1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种拉晶炉P-N型转换过程中杂质元素的控制系统及方法.pdfVIP

  • 6
  • 0
  • 约1.19万字
  • 约 13页
  • 2023-03-21 发布于四川
  • 举报

一种拉晶炉P-N型转换过程中杂质元素的控制系统及方法.pdf

    本发明公开了一种拉晶炉P‑N型转换过程中杂质元素的控制系统及方法，本发明涉及单晶硅制备技术领域。该拉晶炉P‑N型转换过程中杂质元素的控制系统及方法，通过除杂质组件的设置，当充气腔与液面保持齐平停止后，当连杆通过滑块以及滑槽的配合向下移动的同时、将对应的复位弹簧进行拉伸，当通过驱动气缸的运行，带动其端部固定安装的拉晶硅棒向上拉动的同时，液面会随着晶体的生长进行下降，同时若干个与液面接触的吸附棒会通过液面的下降以及复位弹簧的配合进行缓慢下降的同时、缓慢与液面进行分离，直至液面的杂质吸附至吸附棒的端部

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574964 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210079672.0 (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >