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[精品]干涉法测微小量 干涉法是一种测量微小量的工作原理，主要是利用光影响物质的原理来测量物理尺寸和变化。它是一种直接测量技术，其优点是准确、短途、不受干扰和改变。 干涉法可以测量微小量，因为它是基于光-物之间相互作用的原理。它可以根据光被物体反射、折射或消散的变化来直接测量尺寸及其变化情况。根据光学波长的不同，可以分为紫外线干涉法和可见光干涉法。 通常，干涉法测量的方法是利用一个参考光干涉光栅，在测量物体表面上创造纵和横光栅，测量点被其他干涉光与参考光相互作用时创造的横向位移于纵向位移观察干涉图，然后通过测量干涉图的位置来确定物体尺寸及其变化情况。 其工作原理是由于物体表面的不同性质，使得参考光与其他干涉光在物体表面上发生反射，而形成多个类似“虹”的影子，这些影子称为“虹环”，由此可以测量到相应角度变化时干涉环的改变程度，从而推算出尺寸及其变化情况。 由于它是精度高、准确度高、速度快、测量范围大、无损耗、不受干扰的优点，它成为了工厂里最常用的一种测量微小量的方法，主要应用于金属件、塑胶件和其他工件的圆度或铣床螺距测量。 由于根据物质性质不同，干涉法可以分为静电干涉法(EIM)，弹性磁干涉法(EMIM)，散射干涉法(SEM)和电磁干涉法(EMS)，它们是用不同方法来检测材料的不同尺寸。 总之，干涉法是用光与物质相互作用的原理来测量物理尺寸和变化的一种测量技术，它具有精度高、准确度高、操作简单等优点，可用于机械成型的金属件、塑料件、铣床螺距等的测量，因此在工厂里具有广泛的应用。