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一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置.pdfVIP

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  • 2023-03-22 发布于四川
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一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置.pdf

    本实用新型公开的一种整体式均氧部件以及碳化硅加工钝化装置，包括进气组件、出气组件以及连接底板；所述进气组件包括具有左侧开口的进气盒，进气盒的左侧开口处可拆卸的设置有左封板，左封板上设置有进气口与循环进气口，进气盒上设置有进气端分气出口，所述进气盒与左封板围合成进气腔；所述出气组件包括具有右侧开口的出气盒，出气盒的右侧开口处可拆卸的设置有右封板，右封板上设置有出气口与循环出气口，出气盒上设置有出气端分气进口，所述出气盒与右封板围合成出气腔。本实用新型中将传统的多部件均氧结构制成了整体式结构，大大的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213811717 U (45)授权公告日 2021.07.27 (21)申请号 202022814916.4 (22)申请日 2020.11.30 (73)专利权人 华芯威半导体科技（北京）有限责

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