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- 2023-03-23 发布于北京
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本实用新型提供了一种冷却装置，包括位于冷却室的冷却结构，冷却结构包括气盒，气盒内设有冷却水管，且气盒上设有出气部，冷却水管内冷却液用于对气盒内的冷却气体降温，并将冷却后的冷却气体经出气部排出至冷却室，对冷却室内的运输载板及运输载板上的工件进行降温。冷却装置还包括位于冷却室外部的冷却气循环结构，冷却气循环结构的一端与气盒连通，冷却气循环结构的另一端与冷却室连通。冷却气循环结构、气盒、冷却室三者形成冷却气体的闭环循环结构。该冷却装置具有结构简单、冷却效果好、效率高的优点，能够确保工件输出冷却室的工艺
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213873406 U
(45)授权公告日 2021.08.03
(21)申请号 202022619579.3
(22)申请日 2020.11.12
(73)专利权人 宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙
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