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一种晶圆清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-23 发布于四川
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一种晶圆清洗装置.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，其包括：壳体；支撑部，设置于壳体中并竖直支撑晶圆；清洗刷，水平设置于壳体中并能够绕轴线转动，以对晶圆进行刷洗；喷杆，设置于壳体中且其上配置有多个喷嘴和/或喷孔，以朝向晶圆表面供给清洗液；所述喷杆的喷嘴和/或喷孔喷射清洗液时，喷射方向与晶圆旋转方向相同的喷杆段的喷射流量大于喷射方向与晶圆旋转方向相反的喷杆段的喷射流量。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218677069 U (45)授权公告日 2023.03.21 (21)申请号 202223237441.2 (22)申请日 2022.12.05 (73)专利权人 华海清科股份有限公司 地址 30

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