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- 2023-03-23 发布于四川
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本实用新型公开了一种基板减薄装置，其包括：基座；减薄模块，设置于基座的上部；转盘，设置于基座上部并位于减薄模块的侧部；所述转盘的上方配置有载置基板的吸盘；还包括位置校核组件，其包括旋转部、摆臂和测量部，所述摆臂的一端连接于所述旋转部，摆臂的另一端设置有测量部；所述测量部配置有检测传感器，其能够通过摆臂移动至吸盘上方；减薄模块的砂轮朝向测量部移动，使得测量部的检测传感器与吸盘抵接；所述检测传感器触发所述砂轮停止下移的信号，以获取砂轮与吸盘之间的距离。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218658136 U
(45)授权公告日 2023.03.21
(21)申请号 202223237369.3
(22)申请日 2022.12.05
(73)专利权人 华海清科股份有限公司
地址 30
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