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- 2023-03-23 发布于四川
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本实用新型提供了一种晶圆承载装置，其包括：主体，形成为圆环状，用于限定承载晶圆的平面；连接部，其与所述主体连接，用于带动所述主体翻转；承载件，其设置于所述主体的一侧的表面；其中，所述承载件包括定位件和限位件；所述定位件与晶圆抵接；所述限位件靠近晶圆的内侧面形成为曲面或与所述平面呈一定夹角的刻面，以限制晶圆的位移。本实用新型提供的晶圆承载装置用于在晶圆清洗时带动晶圆翻转，定位件与晶圆抵接，形成多点接触，实现对晶圆边缘的固定和限位。两侧的限位件对晶圆进行限位，有效保证了晶圆翻转时的稳定性。限位件的曲
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218677112 U
(45)授权公告日 2023.03.21
(21)申请号 202223237422.X
(22)申请日 2022.12.05
(73)专利权人 华海清科股份有限公司
地址 30
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