基板湿制程的剥膜药剂过滤装置.pdfVIP

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2023-03-23 发布于四川
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基板湿制程的剥膜药剂过滤装置.pdf

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本实用新型为一种基板湿制程的剥膜药剂过滤装置，包括剥膜机体、振动机体及过滤结构。该剥膜机体包含药剂槽及喷洒机构。振动机体包含振动台及振动机构，振动机构包含一对致动器、受该对致动器带动的一对偏心机构及连接该对偏心机构的连杆。过滤结构设置在振动台上，且包含过滤网及框围过滤网的过滤框，过滤框连接连杆且过滤框的一部分延伸至药剂槽及喷洒机构之间而承接通过剥膜作业的废膜药剂；借此达到缩小剥膜药剂过滤装置整体体积的目的。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213853429 U (45)授权公告日 2021.08.03 (21)申请号 202021721159.X (22)申请日 2020.08.18 (73)专利权人扬博科技股份有限公司