高真空获得与测量.doc

PAGE 第 PAGE 7页 高真空的获得和检漏 前言 在真空技术中，检漏技术巳成为一项很重要的内容.从17世纪获得真空以来，这300多年可以说是真空工作者向漏气作斗争的历史.漏气是真空的大敌.由于漏气而产生的问题是十分严重的，它引起真空变差，使真空处理物质变坏、原子能放射逸出、锅炉出现事故、电工电子产品性能降低或报废、制冷设备制冷效果变差或根本不制冷……总之,检漏技术与很多领域息息相关.在半导体、电力、制冷、航空航天、原子能、真空、医疗、汽车等行业已经得到了成功的应用. 本实验学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空，用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点. 实验原理 (1). 高真空的测量——电离真空规 具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子和电子，电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p，故产生的正离子数N＋正比于压强p.规管的结构如图2.6.3-l所示,它主要由发射电子的热阴极（灯丝）、加速并收集电子的加速极和收集离子的收集极等三部分组成.其接线图如图2.6.3－2所示,规管中心热阴极F接零电位,为UK为热阴极加 热电压；加速极G接正电位UG（几百伏）;离子收集极接负电位UC（几十伏）,其作用是使由阴极F发射的电子,在加速电位UG的作用下,飞向G极使电子能量增加,大部分电子通过加速极G飞向圆筒型收集极C,电