高真空的获得和检漏 张军 PB04210060.doc

PAGE 6 提交人：张军 学号：P高真空的获得和检漏 实验目的: 学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空，用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点. 实验原理: 1. 高真空的测量——电离真空规 具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离.产生正离子和电子，电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n,即正比于总压强p，故产生的正离子数N＋正比于压强p. 对于一定结构的规管，当各电极电位一定时，对某种气体，在规管中电离所形成的正离子流I+正比于发射电子电流Ie和气体的压强p，即I+=KIep其中比例常数K称为电离计的灵敏度. 2.真空检漏 一个高真空系统，如果经过长时间抽气，仍达不到预期的真空度，在排除泵的因素后，可能的原因有：蒸气源：水蒸气、机械泵油和扩散泵油的蒸气、高真空的密封油脂和封蜡的蒸气及系统内其他污染物,形成蒸气源. 表面放气:系统的器壁、系统内金属元件表面吸附着大量气体分子，在低压下向系统内释放. 真漏：真空系统连接部位安装不良,焊接处有漏孔或漏隙及阀门处密封不严所造成. 3.静态升压法 p－t关系曲线形状,我们可以判断系统是否漏气，如图2.6.3－4听示. l）直线a平行于t轴，说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无放气也无漏气. 图2.6.3-4 压强随时间的变化 2）曲线b开始上升