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一种毛刷自清洗装置.pdfVIP

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  • 2023-03-26 发布于北京
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一种毛刷自清洗装置.pdf

    本申请公开了一种毛刷自清洗装置。该自清洗装置包括升降组件、旋转组件、摆臂机构、毛刷自转组件和储液机构。升降组件为旋转组件提供升降的动力。旋转组件为摆臂机构提供旋转的动力。摆臂机构的一端连接第二连接轴的上端，其另一端连接毛刷。毛刷自旋转机构为毛刷自清洗时提供旋转的动力。储液机构用于储存清洗液。在晶圆清洗的过程中，通过升降组件上升旋转组件，通过摆臂机构抬升毛刷，通过旋转组件的旋转使毛刷正对储液机构，最后再通过升降组件将毛刷下降至清洗液中，最后毛刷自旋转机构使毛刷旋转来完成毛刷的自清洗。在晶圆清洗的过

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213887359 U (45)授权公告日 2021.08.06 (21)申请号 202022577197.9 (22)申请日 2020.11.10 (73)专利权人 上海允哲机电科技有限公司

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