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- 2023-03-27 发布于四川
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本实用新型公开了一种散斑测量机台，所述散斑测量机台包括：台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。根据本实用新型实施例的散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213956273 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202023163396.1
(22)申请日 2020.12.24
(73)专利权人 江西欧迈斯微电子有限公司
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