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真空低温技术与设备东北大学第九期《真空技术》培训系列之一. 真空技术概况 〔巴德纯〕二. 真空工程理论基础 〔孙丽娜〕三. 干式真空泵原理与技术基础 〔巴德纯〕四. 真空系统组成与设计基础 〔岳向吉〕五. 真空获得设备原理与技术基础 〔张以忱〕六. 真空测量技术基础 〔刘玉岱〕七.真空镀膜技术基础 〔张以忱〕八. 质谱原理与真空检漏 〔刘玉岱〕九. 真空冶金技术基础 〔王晓冬〕十. 真空与低温技术及设备 〔徐成海〕 1.绪论 1.1真空技术与低温技术的关系 真空技术和低温技术都诞生于17世纪，完善于19世纪，应用开展于20世纪。到目前为止，真空技术已成为一门通用性很强的科学，在空间科学、原子能工业、电子科学、半导体、计算机、光学、食品、医药、冶金、化工、农业和轻工业等国民经济的各个领域都有相当程度的应用。真空技术在改造着世界。人类社会需要真空技术。低温技术也是一样，在空间科学、化工、农牧以及医药卫生等方面都有其独特的作用，在其他领域也有日益广泛的影响。没有真空技术就不可能获得超低温；没有低温技术就不能产生清洁的极高真空。低温技术的开展促进了真空科学；而真空技术的前进又带动着低温技术。已经形成了真空需要低温，低温离不开真空的局面。 真空科学按照传统的说法可包括真空物理、真空获得、真空测量、真空应用四大方面的内容。而这四方面内容哪一方面都需要低温技术。极低压和极低温是两个极端的物理条