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研磨垫及具有其的研磨装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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研磨垫及具有其的研磨装置.pdf

    本实用新型提供了一种研磨垫及具有其的研磨装置。该研磨垫具有相对的非工作面和工作面，工作面具有旋转中心且工作时沿旋转中心周向旋转，工作面具有至少一个第一区域，在由旋转中心指向工作面的边缘的方向上，第一区域的第一长度由L1递增至L2并由L2递减至L3，第一长度为第一区域沿旋转方向的长度，工作面中除第一区域之外的区域为第二区域，位于第一区域中的工作面与非工作面之间的最大垂直距离为H1，位于第二区域中的工作面与非工作面之间的最大垂直距离为H2，H1＜H2。上述研磨垫能够沿晶圆的边缘向中心区域的方向逐渐降

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213946060 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202022943908.X (22)申请日 2020.12.10 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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