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炉管设备中的晶舟运动机构.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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炉管设备中的晶舟运动机构.pdf

    本实用新型公开了一种炉管设备中的晶舟运动机构，包括电机和转盘，基座的顶面形成有由至少两段波浪面首尾相连组成的导轨面的圆形导轨，且波浪面的形状和尺寸相同；转盘包括上连接部、导向杆部、下连接部，上连接部安装有与波浪面的数量相同的导轮，上连接部与晶舟固定连接，且上连接部与导向杆部的上端固定连接，下连接部与电机的输出轴固定连接且下连接部与导向杆部构成滑槽滑轨结构；在导向杆部与下连接部发生相对上下运动时，导轮与波浪面的接触面保持在同一水平面内。本实用新型不但可以实现晶舟的旋转运动，而且晶舟可以周期性上下螺

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958921 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023180549.3 (22)申请日 2020.12.25 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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