一种单晶硅制造用烘干装置.pdfVIP

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2023-03-27 发布于北京
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一种单晶硅制造用烘干装置.pdf

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本实用新型公开了一种单晶硅制造用烘干装置，包括箱体，箱体的一侧通过铰链铰接有箱门，箱体内部设置有烘干室，箱体在箱门一侧的顶部开设有凹槽，凹槽内转动连接有两个旋钮，箱体内部的底端开设有出风口，出风口的底端固定安装有通风管，通风管的另一端与风机固定连接，箱体内部固定安装有三层导槽，导槽上滑动连接有托板，托板上设置有通孔，托板底端的相对两边设置有导轨，托板的下方固定安装有加热棒，本实用新型的有益效果是：通过托板上开设的通孔，使被加热棒加热的气流能够穿过通孔与单晶硅充分的接触，快速的将单晶硅干燥，大大的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213931763 U (45)授权公告日 2021.08.10 (21)申请号 202022665450.6 (22)申请日 2020.11.18 (73)专利权人阳