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一种离心清洗花篮.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种离心清洗花篮.pdf

    本申请实施例中提供了一种离心清洗花篮，属于硅片清洗装置技术领域，具体用于批量清洗硅片，包括框底，框底上垂直固定有多个沿框底的中心周向分布的定位装置，定位装置包括内定位组件和外定位组件，内定位组件和外定位组件均沿框底的中心周向分布且间隔设置，用于将硅片沿环形定位在内定位组件和外定位组件之间。通过本申请的处理方案，减少硅片干燥后残留在硅片上的化学物质。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958929 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023082012.3 (22)申请日 2020.12.17 (73)专利权人 宣

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