一种横向导通型GaN混合pn肖特基功率二极管.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种横向导通型GaN混合pn肖特基功率二极管.pdf

本实用新型公开了一种横向导通型GaN混合pn肖特基功率二极管,包括自下往上依次设置的衬底层、应力缓冲层、GaN外延层和p‑GaN掩埋层,其中,GaN外延层上表面未被p‑GaN掩埋层覆盖的部分设置有GaN沟道层,并且GaN沟道层还覆盖p‑GaN掩埋层上表面的一部分;GaN沟道层的上表面设置有势垒层;势垒层的上表面两侧分别设置有p‑GaN盖帽层和欧姆接触电极,p‑GaN盖帽层位于p‑GaN掩埋层的上方;p‑GaN盖帽层的上表面以及p‑GaN掩埋层上表面未被GaN沟道层覆盖的部分设置有肖特基电极。本实

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213958964 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023161369.0 (22)申请日 2020.12.23 (73)专利权人 宁

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