一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置.pdf

本实用新型公开了一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,包括外基座以及外基座上固定连接的加热设备,所述外基座内腔间隙配合有内托盘、外坩埚壳以及内坩埚壳,所述外基座内腔固定连接有挡口,内坩埚壳外侧固定连接有第一挡盘,所述挡口与第一挡盘抵接,所述内托盘底端开设有开口槽,所述内托盘顶端与第二挡盘抵接。本实用新型中,采用空腔式侧壁预热机构,实现了对于内坩埚壳以及外坩埚壳进行方便的预热操作,采用了滑道式间距可调贴合加热结构,实现了内坩埚壳与外坩埚壳之间的贴合以及侧向加热使用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213943205 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202022960201.X (22)申请日 2020.12.09 (73)专利权人 成都伍田机械技术有限责任公司

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