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掩膜装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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掩膜装置.pdf

    本实用新型公开了一种掩膜装置，该掩膜装置包括掩膜支撑框架，该掩膜支撑框架包括外框和多个第一支撑架，该外框的第二边框上设置有多个第一凹槽；每个第一支撑架包括位于中段的第一支撑结构和位于两端的第一固定结构；每个第一支撑架的第一固定结构与外框上的第一凹槽配合固定；其中每个第一支撑架上的第一固定结构尺寸相同；其中至少一个第一支撑架上的第一支撑结构与其他第一支撑架上的第一支撑结构沿第二方向的宽度不同。该掩膜装置能够实现在简化安装的同时根据金属掩膜网中掩膜开口的排布特点针对性的进行支撑，进而使得金属掩膜网能

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213951326 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023164853.9 (22)申请日 2020.12.24 (73)专利权人 合肥维信诺科技有限公司

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