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- 2023-03-27 发布于四川
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本实用新型涉及双台面高精度运动平台,包括基座,基座上设置有多个轨道Ⅰ,多个轨道Ⅰ平行设置,基座上还设置有支撑框架,支撑框架罩设在轨道Ⅰ上方,支撑框架包括相互平行的轨道Ⅱ,多个轨道Ⅱ的上端面与基座的上端面的竖直距离不相同,轨道Ⅰ上设置有气浮块Ⅰ,轨道Ⅱ上设置有气浮块Ⅱ,还包括气源装置和线性驱动系统,线性驱动系统控制气浮块Ⅰ和气浮块Ⅱ的启停;由于气源装置的存在,气浮块Ⅰ和气浮块Ⅱ在运动时无摩擦,运动速度快,气浮的承重能力强,可移动精度高,可以将移动的误差范围控制较小。由于轨道Ⅰ和轨道Ⅱ的同时存在,一
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213949917 U
(45)授权公告日 2021.08.13
(21)申请号 202023114089.4
(22)申请日 2020.12.22
(73)专利权人 昆山仁合汇精密量具有限公司
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