一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器.pdfVIP

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2023-03-27 发布于四川
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一种基于微悬臂梁结构的F-P型光纤湿度传感器.pdf

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本实用新型公开了一种基于微悬臂梁结构的F‑P型光纤湿度传感器。其特征在于：该传感器由单模光纤、毛细管、金膜和琼脂糖凝胶薄膜组成。使用飞秒激光将毛细管端面涂覆的金膜穿透，形成一个开口腔的刚性矩形的微悬臂梁结构，其悬臂梁的长度为95um～110μm，宽度为25μm～35μm，厚度为0.1μm～0.15μm。在微悬臂梁结构上涂覆一层厚度为0.5μm～1.5μm的琼脂糖凝胶薄膜。应用时，将传感器置于待测湿度环境内，环境湿度发生变化，琼脂糖凝胶薄膜的质量和厚度发生变化，进而使得微悬臂梁结构的本征频率发生变

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213957152 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202022647591.5 (22)申请日 2020.11.16 (73)专利权人中国计量大学地址