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一种单晶炉配套设备撬装装置.pdfVIP

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  • 2023-03-27 发布于四川
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一种单晶炉配套设备撬装装置.pdf

    本实用新型提供了一种单晶炉配套设备撬装装置，包括：底座，可移动，起承载作用；真空泵，安装于底座前部，设有吸气管路和排气管路；振动过滤器，安装于底座中部，包括进气口和排气口，进气口经管路与单晶炉连接，排气口与真空泵的吸气管路连接；液压系统柜，安装于底座的后部，用于驱动单晶炉上的提升机构；控制箱，安装于底座的后部，与真空泵、振动过滤器和液压系统柜电性连接；其中，真空泵、振动过滤器、液压系统柜和控制箱均定位固定安装于底座上。该撬装装置实现单晶炉各配套设备的标准化模块化布局，管道线路分布合理，方便安装、

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213951416 U (45)授权公告日 2021.08.13 (21)申请号 202023234404.7 (22)申请日 2020.12.29 (73)专利权人 四川永祥硅材料有限公司

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