无尘室等级对照表.docxVIP

车间净化工程： 亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪 音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。 空气洁净度等级： 空气洁净度等级（air cleanliness class）是洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。 基本信息： 一、洁净室的空气洁净度，应进行下列测试 （一）空态、静态测试 空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。 静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。 （二）动态测试 洁净室已处于正常生产状态下进行测试。 洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。 二、空态、静态测试 （一）测试前的准备 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内（或风管内）粒径大于或等于 0.5μm 的尘粒数应为大于或等于 30,000 粒/升。如若不够，可引入烟雾，然后开始检漏。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器 2-3 厘米处，可以 2-4 厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。 当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm 的尘粒超过3 粒/ 分·升（或其穿透率大于 0.01‰）即认为该处有明显渗漏，必须进行堵漏。 （二）测试内容 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等； 洁净室压力值； 层流洁净室断面风速和气流流向； 洁净工作区的洁净度； 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试； 洁净室内噪声。 （三）洁净工作区空气洁净度的测试方法 对于粒径大于或等于 0.5μm 的尘粒计数，宜采用光散射粒子计数法，也可采用滤膜显微镜计数法。 光散射粒子计数法： 光散射粒子计数器采样量 100 级：每次采样量大于或等于 1 升。1,000 级-10,000 级：每次采样量大于或等于 0.3 升。100,000 级：每次采样量大于或等于 0.1 升。对于 100 级洁净室，宜采用大流量粒子计数器进行测试；如果条件不具备时，可采用每次采样量不小于 1 升的粒子计数器。 采样注意事项： ①采样管必须干净，连接处严禁渗漏。 ②采样管的长度，应根据仪器的允许长度。当无规定时，不宜大于 1.5 米。 ③采样管口的流速，宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。 ④采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。 测点布置： ①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面 1 米。 ②层流洁净室测点总数不小于 20 点，测点间距为 0.5-2.0 米， 粒径大于或等于 0.5μm 的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。 ③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50 平方米布置 5 个测点。每增加 20-50 平方米，增加 3-5 个测点。 数据整理： ①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样，取其平均值，即为该点的实测数值。 ②对于大于或等于 0.5μm 的尘粒数确定：层流洁净室取各测定 点最大值，乱流洁净室取各测点的平均值。 （四）正压值测定应采用精度可达 0.01 毫米水柱的微压计。三、动态测试 在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行，测试方法同空态、静态测试。