一种半导体器件的金属互连结构及半导体器件.pdfVIP

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  • 2023-03-28 发布于四川
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一种半导体器件的金属互连结构及半导体器件.pdf

本实用新型涉及一种半导体器件的金属互连结构及半导体器件,对应化合物半导体器件的接线盘设置第一金属柱、第二金属柱,使本实用新型适用于倒装式封装,基于倒装式封装结构,能增加单位面积内的I/O数量,缩短的互连,进而减小电感、电阻及电容,性能提高;而且封装后的面积更小。本实用新型利用第一金属柱、第二金属柱作为半导体器件与基材的连接机构,具有较佳抗电迁移和导热能力,进一步提升高密度、低阻抗、低寄生电容、低电感,低能耗,低信噪比等优点,提高半导体器件特性以及散热效果。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214012937 U (45)授权公告日 2021.08.20 (21)申请号 202022422621.2 (22)申请日 2020.10.27 (73)专利权人 厦门市三安集成电路有限公司

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