一种配有多效蒸发装置的物料前置处理系统.pdfVIP

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2023-03-28 发布于四川
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一种配有多效蒸发装置的物料前置处理系统.pdf

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本实用新型公开了一种配有多效蒸发装置的物料前置处理系统，涉及蚀刻液配置技术领域。本实用新型包括氯化氢原料罐、氟化氢原料罐、硝酸原料罐、汽提塔和多效蒸发装置，氯化氢原料罐、氟化氢原料罐和硝酸原料罐均通过管道与各自的汽提塔的进口固定连接。本实用新型通过设置一级蒸发罐、二级蒸发罐、三级蒸发罐和四级蒸发罐，通过多效蒸发装置四级提纯后，原料中的微量金属颗粒与含氮副产物含量显著减少，生产原料纯度达到指定标准，通过设置超声波发生器、电加热圈和微波发生器，使得液态生产原料通过超声波能彻底的分散，避免杂质的聚集，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213966337 U (45)授权公告日 2021.08.17 (21)申请号 202022199762.2 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人福建雅鑫电子材料有限公司