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- 2023-03-28 发布于四川
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本实用新型公开了高纯铬钛合金靶表面研磨装置，包括底座、合金靶，所述底座上通过两个支撑杆固定安装有顶板，所述底座上通过转辊转动安装有放置盒，且放置盒内固定安装有垫块，且合金靶放置在垫块上，所述放置盒内安装有两个夹持机构，所述放置盒上固定安装有齿环，所述顶板上通过伺服电机转动安装有主动轮、转盘，所述转盘上通过移动机构安装有研磨盘，所述顶板上通过转杆转动安装有从动轮、齿轮，且主动轮与从动轮之间固定套设有传动带，且齿轮与齿环相啮合。优点在于：通过采用单电机带动研磨盘与合金靶进行互为反向转动的研磨方式，能
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213999045 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202022192835.5 B24B 47/12 (2006.01)
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