原创力文档- 2
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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型涉及硅片加工工艺技术领域，尤其涉及一种托运举升组件。该托运举升组件包括底板、托运气垫和空气弹簧，底板用于安装于相应工位，托运气垫固定安装于底板，用于支撑工件台；空气弹簧固定安装于底板，空气弹簧与托运气垫位于底板的同侧。本托运举升组件在传输工件台过程中，占用空间较小，即使空间受限，也能够实现相应工位的传输工作。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214043615 U
(45)授权公告日 2021.08.24
(21)申请号 202022909703.X
(22)申请日 2020.12.07
(73)专利权人 杭州天睿精密科技有限公司
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