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- 2023-03-29 发布于四川
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本实用新型提供了一种环件角度检具，所述环件角度检具包括检测套与插销；所述检测套的内环面设置有至少5个轴向凹槽；所述轴向凹槽经过贯穿孔连通于检测套的外环面；所述轴向凹槽的位置与待测环件的凸块位置相适配；所述插销的尺寸与贯穿孔的尺寸相适配。本实用新型提供的环件角度检具有效地防止了环件因角度错误而无法安装到溅射机台，同时结构简单，操作方便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214010191 U
(45)授权公告日 2021.08.20
(21)申请号 202120121184.2
(22)申请日 2021.01.15
(73)专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司
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